| 1984年 | 以衣料品制造为目的在广岛县福山市草户町设立 资本金3,000,000日元 |
| 1995年 | 9月电子部门开设 同年11月资本金为7,000,000日元，到 12月增资为10,000,000日元 |
| 1996年 | Digital Storage UNIT开发，制造，销售开始 RF MATCHING BOX修理业务开始 RF GENERATOR开发、制造、销售(300W) |
| 1997年 | RF GENERATOR修理业务 开始 RF GENERATOR开发、制造、销售(600W) SYSTEM CONTROLLER开发、制造、销售 |
| 1998年 | 
CSG-1000 RF Complete Set(RF GEN+RF MATCH)RF MATCHING BOX(16bit CPU)开发、制造、销售 RF MATCHING Control Soft 开发 福山市川口町 科技中心 新设 |
| 1999年 | 
半导体 日本出展RF Power TESTER 13.56MHz 2KW 开发、制造、销售 RF MATCHING BOX(32bit CPU)SM-1000、SM-2000、SM-3000 开发、制造、销售 |
| 2000年 | 
半导体 台湾出展RF MATCHING BOX SMA-1000 ETCH(32bit CPU) RF MATCHING BOX SMA-1000 CVD(32bit CPU) RF GENERATOR SG-2000、SG-3000(32bit CPU)开发、制造、销售 Magnetron head 修理及开发 福山市松永町 科技中心 开设 |
| 2001年 | 
随着成立这个，三诚产业株式会社担当把高周波机器的开发·销售作为目的 「Sunsay Generic CO.,LTD」制造·保守 CSG-600Ⅱ(32bit CPU)RF Complete Set PVD RF MATCHING BOX修理业务开始 CVD Heater UNIT修理业务开始 CVD Drive UNIT修理业务开始 Lamp Driver UNIT修理业务开始 TCP DSQ RF Matching Box SML-1250DSQ 开发 销售 FINETECH 日本出展/半导体 台湾出展/半导体 日本出展 Magnetron head 修理及开发 Low Cost P-5000 RF Matching Box Ver Kit开发 销售 |
| 2002年 | 
DPS SM-2500、SMA-1000D RF Matching System开发TCP Process Top RF Matching Box SML-1250PT开发 销售 Low Cost RF Matching Box开发 销售 半导体 台湾出展/ 半导体 日本出展 PVD Sputtering 电源修理开始 Magnetron head 电源开始 |
| 2003年 | 
HDP CVD RF Matching System开发 销售PVD DC Generator修理开始 P-5000用 Mechanical Drive Robot开发 销售 半导体 日本 出展／半导体 台湾出展 P-5000 Eching用薄型机械手臂开发 销售 Magnetron head 控制器开始 RF Interlock 用 RF TESTER变成小型化 、及USB的对应 在福山市明王台町 科技中心 开设 |
| 2004年 | 
TCP Bot RF Matching System开发半导体 台湾出展／半导体 日本出展 P-5000用 高真空Robot开发 销售 Robot 高寿命、高扭矩、改善Motor的开发 销售 H/E修理、Ver UP品开发 销售 Process Gas Radical UNIT开发 销售 |
| 2005年 | 
P-5000用 机械 驱动器 高寿命 高真空 Robot开发 销售Centura DPN RF System 开发 销售 半导体 日本出展／半导体 台湾出展 在福山市新涯町 工厂(1F)、部品中心(3F)、设计中心(3F)新设 |
| 2006年 | 
福山市新涯町 科技中心(5F)、停车场新设Centura HP Type Robot开发 销售 Centura DPS-2 Poly Metal RF System开发 销售 HDP SSD PCB Ver UP品的开发 销售 Lam Versys Kiyo300mm TCP Bias RF System开发 销售 半导体 日本出展／半导体 台湾出展 |
| 2007年 | 
Centura VHP Type Robot开发 销售Centura E-Max RIE RF System开发 销售 Centura HDP 300mm RF System开发 销售 Lam Versys Metal300mm TCP Bias RF System开发 销售 AMAT VME SSD System开发 销售 AMAT P-5000、Centura、Endura 面向于 LCD System开发 销售 半导体 日本出展／半导体 台湾出展 |
| 2008年 | 
本社 工厂建立起Clean Room新设高真空 高精度 Mono block AL 切削 真空Chamber1000mm角 设置 高真空 高精度 Mono block AL 切削 真空Chamber1500mm角 设置 高精度 Robot 专用石定盘 设置 常时间记录型 高精度He漏泄检查器2台设定 远程 等离子实验设备设置 Lam Versys 45 Versys 300mm TCP Bias RF System开发 销售 Lam Exelan 300mm System开发 销售 Novellus C300 Speed RF System开发 销售 半导体 日本出展／半导体 台湾出展 |
| 2009年 | 
总公司 工厂ISO14001 环境对策 外断热 高气密 省能源 改装实施总公司 工厂ISO14001 环境对策 全空调 超省能源形态改装 (消费电力50%低减) AMAT Producer 300mm Fixd Match+RF Generator System开发 销售 Lam Versys 45 Versys3x 2X 300mm TCP Bias RF System开发 销售 Lam Exelan 300mm 3x 2X System开发 销售 Novellus ALtus RF System开发 销售 Novellus Vector RF System开发 销售 太阳电池后部座位制造System开发 销售 太阳电池 LCD座位倒带System开发 销售 半导体 日本出展/半导体 台湾出展 |
| 2010年 | 
科技中心ISO14001环境对策 外断热 高气密省能源 改装实施 科技中心ISO14001环境对策 全空调超省能源型改装(消费电力50%低减) 科技中心ISO14001环境对策 电梯超省能源型改装(消费电力30%低减) 科技中心ISO14001环境对策 超省能源 节水型厕所改装(50%节水) 总公司 工厂ISO14001 环境对策 超省能源 节水型厕所改装(50%节水) 总公司 工厂 ISO14001环境对策 双重断热玻璃改装(消费电力10%低减) SEME PhotoMask 制造RF System开发 销售 AMAT HDP 300mm Fixd Match+RF Generator System开发 销售 Lam Versys 45 Versys C3 3x 2X 300mm TCP Bias RF System 开发 销售 Lam Exelan 300mm+H 3x 2X System 开发 销售 TEL Ox System RF System开发 太阳电池后部座位制造温度调整System 开发 销售 医疗用 微量X线诊断素子制造装置 开发 销售 |
| 2011年 | 
Lam EXELAN 27MHz/2MHz RF MATCHING SYSTEM开发 销售高速RF TESTER Ver2 27MHz,2MHz开发 销售 Canon STRIP RF MATCHING SYSTEM 开发 销售 LCD 面向于智能手机 RF MATCHING SYSTEM 开发 销售 环境对策 太阳电池10kw 发电 SYSTEM导入 SEMI FORUM JAPAN 2011出展 关于最新微细加工技术发表 关于2x～3x ETCHING SYSYTEM的发表 关于高压ICP PLASMA SYSTEM的发表 (Process 发表) |
| 2012年 |
本公司，改造了RF省电型照明使得节省电源30% 导入10Kw 太阳能电池系统 导入混合动力汽车 使得能源使用量降低至40% Lam EXELAN Flex-Ⅲ 27MHz/2MHz MATCHING SYSTEM开发及销售 TEL VESTA 10MHz/32MHz MATCHING SYSTEM开发及销售 Lam Versys 45-Ⅱ MATCHING SYSTEM开发及销售 ULVAC LCD MATCHING SYSTEM开发及销售 AKT LCD MATCHING SYSTEM开发及销售 在放电学会上发表了 PLASMA SYSTEM的研究报告 |
| 2013年 |
IEEDJ Electric Discharge Society Annual General Meeting Keynote Speech，发表等离子射频电源论文 IEEDJ Electrical Discharge Society 年会做主题演讲，发表Bosh Process ICP Plasma 论文 LCD 7.5KW RF Match, RF Generator Ver UP 发布 |
| 2014年 |
IEEDJ Electric Discharge Society Annual General Meeting Keynote Speech，发表等离子射频电源论文 IEEDJ Electrical Discharge Society 年会做主题演讲，发表Bosh Process ICP Plasma 论文 发行Bosh Process RF Match、RF Generator Ver UP 整栋大楼采用LED照明设备 |
| 2015年 |
IEEDJ Electric Discharge Society Annual General Meeting Keynote Speech，发表等离子射频电源论文 IEEDJ Electrical Discharge Society 年会做主题演讲，发表Bosh Process ICP Plasma 论文 RFG射频电源版本UP发布 发行Apex RF Generator 升级版 GMW-, GMW-RF 等离子射频电源 Ver UP |
| 2016年 |
IEEDJ Electric Discharge Society Annual General Meeting Keynote Speech，发表等离子射频电源论文 IEEDJ Electrical Discharge Society 年会做主题演讲，发表IC Plasma 论文 发行300mm Lam Exelan Felix GX RF Match，RF Generator Ver UP 发行300mm TEL Vegas RF Match、RF Generator Ver UP NOVA25、NOVA50 射频电源版本升级 GHW50 射频电源升级版 |
| 2017年 |
IEEJ 电气工程师协会 A 部基础知识，逻辑，“等离子射频电源中的推挽 MOS-FET 逆变器的功率转换效率和功率损耗”，日本电气工程师学会会刊 Vol.136 No.8 D，pp.511-521（2016 年）。 IEEJ 电气工程师协会 D 工业部“使用 RF 变压器稳定阻抗匹配系统”。 日本电气工程师学会会刊，第 136 卷，第 7A 期，第 404-408 页（2016 年）。 IEEDJ Electrical Discharge Society 年会主题演讲，发表Plasma RF Generator 论文 IEEDJ 放电学会年会主题演讲，Bosh Process ICP Plasma Paper 获得总公司第二工厂用地800坪 |
| 2018年 |
开设尾道设计中心（5F）150坪 总部二厂土地整备 LCD 8.5G 射频电源30KW研发、制造和维护 LCD 10.5G‖引进射频设备‖AC380-500V‖100KW‖电源设备、50KW射频假负载 引进射频功率计 研发制造300mm蚀刻设备用ESC |
| 2019年 |
癌症高频治疗用RF Matching Box + RF Generator + RF Sensor研发销售 （65% 的国内份额由健康保险覆盖） 300mm RPS系统维护与研发 300mm用MKS RF Generator上位兼容机、研发、制造、销售 300mm用AE RF Generator上位兼容机、研发、制造、销售 |
| 2020年 |
高频电力测量仪、OEM研发，生产，销售超1000台 200mm用节能RF Generator研发、制造、销售 300mm用RF Sensor OEM研发，生产，销售超1000台 |
| 2021年 |
研发中心落成（2000㎡） 研发并销售 RF Generator for 200/300mm HDP CVD for AMAT 引入最新的射频测量系统 300mm电调高压电源研发、制造和销售 |
| 2022年 |
研发中心成立 下一代节能（2022 年 4 月实施新节能法首次遵守） 双层玻璃 + 下一代隔热材料 (120mm) 聚氨酯隔热材料 + 双折屋顶（双重隔热材料） 引进新一代地热冷却水系统 800ℓ/min 推出200/300/380/400/440/480/500V兼容大功率电源 (600KVA/250KVA) 引入2吨变频式桥式起重机 引进变频式电梯450kg 采用无障碍设计介绍 采用节能空调 全面采用无废弃物瓷砖 引入坚固的抗震结构（网格施工法） 用于 200/300mm HDP CVD AMAT System 的 RF Generator 的研发和销售 引入最新的CAD系统（机械/电气/结构） 推出最新的CAD AO/AI保护器系统 远程会议系统介绍 引入电晕对策通风系统 电晕措施，独立会议室（3间）/会议室（2间） |
| 2023年 |
128KW射频电源研发制造 在总公司、总公司工厂、技术中心引进最新的火灾自动报警系统 全公司引进防灾系统、不间断电源（UPS）、防灾物资（水、食品等） 引进锂离子电池 |
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