周刊Economist
第2特集 半导体创业 被选入最强的70。
●在Plasma用高周波机器的制造上、在国内是少数的几家企业。
在美国的DRAM 及Flash Memory以外、日本国内的半导体工厂等、有着很宽广的纳入实绩。在Etching工程的高周波机器上取得了独占的地位。

 

●被刊载了到半导体产业新闻●
Semiconductor venture 2004
As "bearers of new IT revolution", SUNSAY was published to Semiconductor Industry News.

 

RF电源机器类新的开发挑战
用数字回路技术和软件处理技术来驱动扩大Process Window
1,、公司概要
三诚产业株式会社、是在1984年作为缝纫事业的广岛工厂而设立的、在1995年时和半导体部门进行了合并运营。在1998年时半导体关联机器的开发制造进行了一体化直至现在。
主要产品是RF电源・RF MATCHING BOX・Radical gas电源、Process Chamber RF Inter lock System・RF电力测定器等。半导体最先端Process方面的关联机器开发、以及正在为测量以制造为中心为的企业而展开中。

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